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從其原理來(lái)說(shuō)勻膠機有以下兩大特點(diǎn)!

更新時(shí)間:2020-12-17點(diǎn)擊次數:934
   勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
  勻膠機有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統,可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著(zhù)晶片尺寸的增大,出現了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500-1000nm,同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計進(jìn)行恒量控制。對涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。
  從其原理來(lái)說(shuō)勻膠機有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
  (1)旋轉速度
  轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。目前轉速控制方面有認定標準,如美國NIST標準等。
  (2)真空吸附系統
  真空泵一般采用無(wú)油泵,即通常說(shuō)的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會(huì )讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制,當真空吸附力不夠時(shí)不會(huì )開(kāi)始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統。